设备名称:
高解析热场发射扫描电子显微镜(FESEM)
型 号:
JSM-7001F
产 地:
日本JEOL
价 值:
300万元
购置年份:
2010年4月
主要技术参数:
1.分辨率:1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV) ;
2.加速电压:0.5KV-30kV;
3.放大倍数:10-500K ;
4.大束流高分辨5nA,WD10mm,15kV时分辨率3.0nm ;
5.束流强度:1pA到200nA 。
主要特点:
1.浸没式热场发射电子枪,束流强度最大200nA;
2.无漏磁物镜设计,便于磁性样品观测和EBSP观测不变形;
3.自动光阑角控制器,无需调整光阑;
4.全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度;
5.适于配合多种分析性探头。
应用领域:
主要用于对材料微观组织、表面形貌、断裂断口等的观察分析,同时配有丹麦HKL公司Channel-5型电子背散射衍射分析系统,可在观察微观形貌的同时,进行微区成分的定点分析、线、面分布分析,微区物相晶体结构、晶体取向、取向分布等的分析。
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