设备名称:
扫描电子显微镜(SEM)
型 号:
JSM-6490LV
产 地:
日本
价 值:
145万元
购置年份:
2008年4月
主要技术参数:
1.分辨率:小于3.0nm (30kV,高真空,钨灯丝,二次电子);小于4.0nm(钨灯丝,背散射电子);
2.加速电压最小范围:0.5~30KV,10V/步;
3.放大倍数范围:20~300,000 倍;
4.高真空度:1.5×10-3Pa;低真空度:6~270Pa;
5.能谱仪Si(Li)探测器:分辨率优于133eV;
6.能谱探测器的有效面积:10mm2;
7.能谱元素分析范围:B5~U92。
应用领域:
广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。随着材料科学和高科技的迅速发展,扫描电镜在得到较好的试样形貌像的前提下,同时得到成分信息和晶体学的信息,使得扫描电镜测试技术在新型材料学科领域中的应用也日益广泛。
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