设备名称: | 扫描电子显微镜(SEM) | ||
型 号: | JSM-6490LV | 产 地: | 日本 |
价 值: | 145万元 | 购置年份: | 2008年4月 |
主要技术参数: | 1.分辨率:小于3.0nm (30kV,高真空,钨灯丝,二次电子);小于4.0nm(钨灯丝,背散射电子); 2.加速电压最小范围:0.5~30KV,10V/步; 3.放大倍数范围:20~300,000 倍; 4.高真空度:1.5×10-3Pa;低真空度:6~270Pa; 5.能谱仪Si(Li)探测器:分辨率优于133eV; 6.能谱探测器的有效面积:10mm2; 7.能谱元素分析范围:B5~U92。 | ||
应用领域: | 广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。随着材料科学和高科技的迅速发展,扫描电镜在得到较好的试样形貌像的前提下,同时得到成分信息和晶体学的信息,使得扫描电镜测试技术在新型材料学科领域中的应用也日益广泛。 |